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氣載微業(yè)潔凈等級(jí)（ISO 14644-1）

發(fā)布時(shí)間： 2014-09-16　　點(diǎn)擊次數(shù)： 1316次

SO Classification Number

Maxlmum Concentrationlimit(particles/M3of air)
equal to or larger than considered sizes shown bolew

0.1um

0.2um

0.3um

0.5um

1um

5um

ISI01

10

2

　

　

　

　

ISI02

100

24

10

4

　

　

ISI03

1,000

237

102

35

　

　

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1020

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83

　

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